精品久久久久亚洲精品,欧美日韩高清视频在线,激情综合网婷婷六月,色偷偷888欧美精品久久久

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG光刻機  >  掩模對準(zhǔn)曝光機  >  HERCULESDymek岱美儀器量產(chǎn)型光刻機系統(tǒng)

Dymek岱美儀器量產(chǎn)型光刻機系統(tǒng)

簡要描述:光刻機Track系統(tǒng)通過集成的生產(chǎn)系統(tǒng)和結(jié)合掩模對準(zhǔn)和曝光以及集成的預(yù)處理和后處理的高度自動化功能,完善了EVG光刻機產(chǎn)品系列。HERCULES光刻機Track系統(tǒng)基于模塊化平臺,將EVG已建立的光學(xué)掩模對準(zhǔn)技術(shù)與集成的清潔,光刻膠涂層,烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合。將HERCULES平臺變成了“一站式服務(wù)",在這里將經(jīng)過預(yù)處理的晶圓裝載到工具中,然后將結(jié)構(gòu)化的經(jīng)過處理的晶圓退回。

  • 產(chǎn)品型號:HERCULES
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 4445

詳細(xì)介紹

1. 集成光刻系統(tǒng)

光刻機Track系統(tǒng)通過集成的生產(chǎn)系統(tǒng)和結(jié)合掩模對準(zhǔn)和曝光以及集成的預(yù)處理和后處理的高度自動化功能,完善了EVG光刻機產(chǎn)品系列。HERCULES光刻機Track系統(tǒng)基于模塊化平臺,將EVG已建立的光學(xué)掩模對準(zhǔn)技術(shù)與集成的清潔,光刻膠涂層,烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合。將HERCULES平臺變成了“一站式服務(wù)",在這里將經(jīng)過預(yù)處理的晶圓裝載到工具中,然后將結(jié)構(gòu)化的經(jīng)過處理的晶圓退回。


2. HERCULES量產(chǎn)型光刻機系統(tǒng)(Lithography Track System)

這里所描述的HERCULES ®是一個高容量的光刻機系統(tǒng)平臺,整合整個光刻工藝過程在一個系統(tǒng)中,縮小處理步驟和減少了對操作員的依賴。


3. 技術(shù)數(shù)據(jù)

HERCULES基于模塊化平臺,將EVG已有的光學(xué)掩模對準(zhǔn)技術(shù)與集成的晶圓清洗,光刻膠涂層,烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合。HERCULES支持各種晶片尺寸的盒到盒處理。HERCULES安全地處理厚的,彎曲的,矩形的,小直徑的晶片,甚至是設(shè)備托盤。精密的頂側(cè)和底側(cè)對準(zhǔn)以及亞微米至超厚(蕞大300微米)光刻膠的涂層可用于夾層和鈍化應(yīng)用。出色的對準(zhǔn)臺設(shè)計可實現(xiàn)高產(chǎn)量的高精度對準(zhǔn)和曝光結(jié)果。


4. 特征

1)生產(chǎn)平臺以蕞小的占地面積并集成了EVG精密對準(zhǔn)和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)點

2)多功能平臺支持各種形狀,尺寸,高度變形的模具晶片甚至托盤的全自動處理

3)高達(dá)52,000 cP的涂層可制造高度高達(dá)300微米的超厚光刻膠特征

4)CoverSpin 旋轉(zhuǎn)蓋可降低光刻膠消耗并優(yōu)化光刻膠涂層均勻性

5)OmniSpray 涂層,用于高地形表面的優(yōu)化涂層

6)NanoSpray 用于涂層和保護(hù)通孔結(jié)構(gòu)

7)自動掩模處理和存儲

8)光學(xué)邊緣曝光和/或溶劑清潔以去除邊緣顆粒

9)使用橋接工具系統(tǒng)對多種尺寸的晶圓進(jìn)行易碎,薄或翹曲的晶圓處理

10)返工分揀晶圓管理和靈活的盒子系統(tǒng)

11)多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)


Dymek岱美儀器量產(chǎn)型光刻機系統(tǒng)

圖1  光刻結(jié)果

5. 技術(shù)數(shù)據(jù)

5.1 對準(zhǔn)方式

上側(cè)對準(zhǔn):≤±0.5 µm

底側(cè)對準(zhǔn):≤±1,0 µm

紅外校準(zhǔn):≤±2,0 µm,具體取決于基板材料

5.2 先進(jìn)的對準(zhǔn)功能

手動對準(zhǔn)

自動對準(zhǔn)

動態(tài)對準(zhǔn)

5.3 對準(zhǔn)偏移校正

自動交叉校正/手動交叉校正

大間隙對準(zhǔn)

5.4 工業(yè)自動化功能

盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

5.5 曝光源

汞光源/紫外線LED光源

5.6 曝光設(shè)定

真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

5.7 楔形補償

全自動-SW控制

非接觸式

5.8 曝光選項

間隔曝光/批量曝光/扇區(qū)曝光

5.9 系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng):Windows

5.10 文件共享和備份解決方案/無限制的配方和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR

5.11 實時遠(yuǎn)程訪問,診斷和故障排除




產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
把韩国美女操出水| 日韩无码av三级片| 国产精品你懂的在线资源| 精品人妻少妇一区二区三区不卡| 日韩一区二区三区夜色视频| 亚洲综合无码一区二区丶| 大鸡巴抽插小穴色虐视频| 国产精品亚洲1区2区| 中日美女毛5片一区二区三区| 插我舔内射18免费视频| 亚洲AV无码一区二区三区天堂古| 国产精品免费99久久久| 日韩人妻精品一区二区三区99| 熟女菊蕾老妇俱乐部视频| 成年女人永久看片视频 | 上萬網友分享a级国产乱| 国产精品碰碰现在自| 啊好爽好多水深插射视频| 嗯嗯嗯啊啊啊好湿好痒好多水视频| 欧美精品日韩精品中文字幕| 成人 在线 欧美 日韩| 亚洲国产无线码在线| 久久综合色伊人九色91| 亚洲欧洲日本精品| 精品久久久久亚洲中文字幕| 国产午夜福利视频第三区| 日本熟妇一区二区三区四区| 国产成人无码91精品一区| 国产剧情使劲操我逼| 人妻波多野结衣爽到喷水| 国产精品久久一区二区三区夜色| 日本亚洲欧洲一区二区| 伊人久久综合无码成人网| 国精品午夜福利视频导航| 最新日本一区二区三区免费看| 搬开女人下面使劲插视频| 东京热无码AV一区二区三区| 韩国三级a视频哪里看| 手机成人三级a在线观看| 美国女人抠插bbb| 日韩有码一区二区三区在线观看|