精品久久久久亚洲精品,欧美日韩高清视频在线,激情综合网婷婷六月,色偷偷888欧美精品久久久

歡迎來到岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司網(wǎng)站!
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
咨詢熱線

4008529632

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG光刻機(jī)  >  光刻膠處理系統(tǒng)  >  EVG101光刻膠勻膠機(jī)

光刻膠勻膠機(jī)

簡要描述:研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。
EVG101光刻膠勻膠機(jī)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動(dòng)化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EVG101
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 3573

相關(guān)文章

Related Articles

詳細(xì)介紹

光刻膠的各種物性參數(shù)中,粘度值也是一個(gè)非常重要的參數(shù),它對指導(dǎo)光刻膠的涂膠至為重要,但是我們在閱讀光刻膠的說明文檔中往往會(huì)發(fā)現(xiàn)不同廠家使用不同的粘度單位, 比如cP,mPa·S,cst, 這對我們用戶來說對比不同廠家的光刻膠的粘度性質(zhì)造成了困擾。

光刻膠是一種對光敏感的混合液體,是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料,屬于半導(dǎo)體八大核心材料之一,是繼硅片、電子特氣和光掩模之后的第四大半導(dǎo)體材料。

一、EVG101光刻膠測量簡介

研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動(dòng)化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進(jìn)的OmniSpray涂層技術(shù),在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實(shí)現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層,用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗,同時(shí)改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。

二、EVG101光刻膠測量技術(shù)參數(shù):

晶圓尺寸:高達(dá)300mm(12寸)

支持模式:旋涂/ OmniSpray®/生長

晶圓支撐模式:單臂/雙EE/邊緣/翻動(dòng)

分配模式:

- 各種分配泵,可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

- 恒壓分配系統(tǒng)

- EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注

三、特征:

晶圓尺寸可達(dá)300 mm

自動(dòng)旋涂或噴涂或使用手動(dòng)晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

利用從研究到生產(chǎn)的快速簡便的過程轉(zhuǎn)換

成熟的模塊化設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

注射器分配系統(tǒng),用于利用小的光刻膠體積,包括高粘度光刻膠

占地面積小,同時(shí)保持高水平的個(gè)人和過程安全性

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

選項(xiàng):

- 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

- 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹脂涂層

- 旋涂玻璃(SOG)涂層

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
山阴县| 庄浪县| 犍为县| 晋宁县| 临沂市| 洛南县| 梓潼县| 乌审旗| 许昌县| 天长市| 日喀则市| 疏附县| 高台县| 五指山市| 通榆县| 广安市| 五大连池市| 友谊县| 金昌市| 商河县| 长海县| 丹巴县| 武隆县| 景泰县| 紫阳县| 永丰县| 介休市| 安康市| 阿鲁科尔沁旗| 新源县| 锦屏县| 萍乡市| 安阳市| 宜章县| 碌曲县| 敦煌市| 安顺市| 青浦区| 慈利县| 东方市| 望奎县|